リニアガイドの性能を
極限まで追求！
1µm以下の繰り返し精度に加え
動特性を強化。
速度安定性や
多軸同期精度が求められる
プロセスに最適！
とどまるところを知らない半導体の進化と需要の高まりにおいて、前工程での線幅の微細化はもちろん、2.5D/3D実装に代表されるアドバンスドパッケージング技術の重要性が増してきています。
半導体製造プロセスのさらなる微細化に伴い、歩留まり率の確保や高スループットへの要求が一層厳しくなるなか、YASDAは補正技術だけでなくメカニカルな精度を徹底的に追求することで、リニアガイドの性能を極限まで引き出しました。
安田工業の作る「XYステージ」の強み
高精度領域に特化した工作機械メーカーのYASDAが半世紀以上のあいだ培った、
正確無比なステージを実現する3つの技術
あらゆる工程で精度を突き詰める
高精度・高品質
製造技術
【真直】【平行】【垂直】ーメカニカルな部分をサブミクロン単位まで妥協なく追い込む高精度組み立て技術は、半世紀以上にわたって世界最高峰の工作機械を世に送り出してきたYASDAのコアスキル。
部品の加工・調達から組み立て、各種精度検査まで、徹底した品質管理のもとで行うワンストップ製造サービスです。
位置も速度も正確な送り動作
高追従制御
繰り返し位置決め精度に加え、軸移動時の等速性や２軸以上の同期精度などの動的な性能をステージに付与するため、マシニングセンタ製造のノウハウを活かし、綿密なサーボ調整を行います。
さらに熱剛性や振動特性も考慮してユニットを設計。お客様の高付加価値なものづくりに貢献します。
限りなく平らに、真っ直ぐに
機械加工を超える
ハンドスクレーピング
ステージの精度を決定づけるリニアガイドは、職人による"ハンドスクレーピング"と高精度オートコリメータを使用したアライメント工程を経て、機械加工以上の真直度で貼り付けられます。
鋭敏な職人のセンスと厳密な計測技術で、ユニット単体の性能はもちろん、複数台のオーダーであっても"機差"の発生を極限まで抑制します。
安田工業の目標
高剛性リニアガイドテーブルの精度を、
エアースライドステージの領域へ拡大
YASDAは「精度」と「剛性」を併せ持つリニアガイドステージを提供します。
技術開発の進む2.5D/3D実装では、チップ同士の貼り合わせの工程において高い位置合わせ精度が求められるといわれています。そうした中、先端プロセス向けの装置開発においてトレードオフになりがちな「サブミクロンの精度」と「剛性」を両立したステージを製作することで、YASDAはお客様のユニット選定の課題を解決いたします。
リニアガイドの採用により静圧ガイドで発生する脈動を回避し、さらにYASDAの卓越した組立技術で「低ウェービング」「高い繰り返し精度」「安定した位置決め」を実現。
リニアガイドの強みを最大限に活かしながら、高精度領域にも対応できる点が特徴です。貼り合わせ・接合や検査工程など、エアスライドでは難しい積載物に加重がかかる場合にメリットを発揮。高圧・高温など複雑な条件下でも信頼性が求められる設備に適しています。
製品、受託製造実績のご紹介
半導体製造装置用 動特性強化型XYステージ【SEMICON2024出展】
高い繰り返し位置決め精度の実現。
高い繰り返し位置決め精度と動特性の両立を目指した半導体製造装置向けステージ。
精密ステージの基本となる繰り返し位置決め精度に加え、ローリング・ピッチング精度、低ウェービングを追求。
徹底したサーボ調整により運動性能も追求したハイエンドステージです。
※当ユニットはデモンストレーション機です。
お客様の仕様・ご要望に応じてカスタマイズいたします。
開発目標スペック
| ストローク（X軸） | 有効±150mm 最大730mm |
| ストローク（Y軸） | 有効±150mm 最大780mm |
| 真直度（垂直） | 1.0μm |
| 真直度（水平） | 1.0μm |
| 最大速度 | 250mm/sec |
| 最大加速度 | 3m/s^2 |
| ピッチング | 1.3秒 |
| ヨーイング | 1.3秒 |
| 繰り返し精度 | ±0.1μm |
半導体検査装置用ステージ
直線X・Y・Z軸ステージの他、X・Y・Z+θ軸でもワンストップで製作対応可能。高精度工作機械の製造ノウハウを活かし、要求精度に適合するよう全数検査を行ったうえで、調整・出荷します。
- OEM
- 100台以上の出荷実績あり
| ストローク（X軸） | 400mm |
| ストローク（Y軸） | 500mm |
| 位置決め精度 | ±10µm |
| 真直度（垂直） | ±5㎛ |
| 繰り返し精度 | ±2.5㎛ |
FPD製造装置用ステージ
大容量かつフレキシブルなクリーンルームで、大型の装置の製作も対応できます。
- OEM
- 100台以上の実績あり
| ストローク（X軸） | 3000mm |
| ストローク（Y軸） | 5000mm |
| ピッチング | ≧15arcsecond |
| 繰り返し精度 | ±2㎛ |
0.001mm の加工精度を実現する
マシニングセンタを作っている
マシニングセンタは、モノづくりに欠かすことのできない
重要な要素で、自動車・航空宇宙産業から半導体・医療機器・
スマホカメラのレンズまで、様々な分野に携わっています。
最大ではなく、最高を目指す
この不変のスローガンに込められたYASDA スピリットのもと、私たちYASDA は、1929 年の創業以来、常に比類なき精度と耐久性を目指し厳しい品質管理と、エンジニアが作り込む“こだわり” のモノづくりに魂を込めてきました。
その結果、世界中のトップメーカーからYASDA ブランドとして認知いただき、高精度加工分野において大きな信頼を得ています。
受託製造で培った信頼と実績
世界最高峰のマシニングセンタを製造してきたYASDA には、多くの要素技術とノウハウが蓄積されています。
その優れた技術力を生かし、工作機械以外の事業に着眼し、高精度位置決めユニットの受託製造事業を展開しています。
組み立て環境と設備
当社では大型のクリーンルームを設備し、半導体・液晶関連装置のOEM 製造を行っています。
これら大型・特殊な専用製造装置においても、高い精度を実現することは当社ならではの技術です。
施設のご紹介
組み立て環境
第1組立棟 組立場
| 施設規模 | 41×32m |
| クレーン | 2.8t ：4基 / 1t ：2基 （フック下：3,850mm） |
第2組立棟 CR
| 施設規模 | 26×56m |
| クレーン | 10t ・2.8t 親子 /2基 （フック下： 7,300mm） |
第1組立棟 組立場
| 施設規模 | 27×40m |
| クレーン | 2.8t ：2基 / 1t：3基 （フック下： 3,850mm） |
組み立て設備
JIS 0級石定盤
- 1,200mm×2,000mm/6基
- 1,000mm×1,500mm/3基
- 1,800mm×3,600mm/1基
- 2,000mm×3,000mm/1基
オートコリメータ
真直度を追い込むハンドスクレーピング工程で、精度調整・検査に使用。
- Taylor Hobson社製/2台
レーザー測長器
完成したテーブルユニットの精度検査に使用。測定は厳密に温度管理された空間で行われます。
- Keysight社製 /2台
導入までの流れ
01 お問い合わせ
ご検討中の製品・ユニットの概要をお電話または【お問い合わせフォーム】よりご連絡ください。
頂いた内容を確認の上、弊社より改めてご連絡させていただきます。
OEM製造
02 ヒアリング
頂いた情報又は図面を元に、打合せを行わせていただきます。
また、お客様のご要望に応じて、NDA（秘密保持契約）の締結も承ります。
ODM設計 から 製造
02 ヒアリング
ご要求精度、ストローク、速度等の詳細仕様について打合せをさせていただきます。
また、お客様のご要望に応じて、NDA（秘密保持契約）の締結も承ります。
03 構想
ヒアリング内容に基づき構想設計を行い、構想図及び仕様書の作成を行います。
04 お見積り
ヒアリングの内容から、製品の仕様書を作成し、概算費用を算出致します。
04 お見積り
基本構想・仕様に基づいて概算費用を算出します。
05 製作
弊社では品質を最重要テーマと位置付け、設計・製造の各工程を徹底管理しております。
06 納品
完成した製品について、弊社工場内にて動作テスト及び立会検査を行い、ご承認いただければ納品とさせていただきます。
OEM製造
01 お問い合わせ
ご検討中の製品・ユニットの概要をお電話または【お問い合わせフォーム】よりご連絡ください。
頂いた内容を確認の上、弊社より改めてご連絡させていただきます。
02 ヒアリング
頂いた情報又は図面を元に、打合せを行わせていただきます。
また、お客様のご要望に応じて、NDA（秘密保持契約）の締結も承ります。
03 お見積り
ヒアリングの内容から、製品の仕様書を作成し、概算費用を算出致します。
04 製作
弊社では品質を最重要テーマと位置付け、設計・製造の各工程を徹底管理しております。
05 納品
完成した製品について、弊社工場内にて動作テスト及び立会検査を行い、ご承認いただければ納品とさせていただきます。
ODM設計 から 製造
01 お問い合わせ
ご検討中の製品・ユニットの概要をお電話または【お問い合わせフォーム】よりご連絡ください。
頂いた内容を確認の上、弊社より改めてご連絡させていただきます。
02 ヒアリング
ご要求精度、ストローク、速度等の詳細仕様について打合せをさせていただきます。
また、お客様のご要望に応じて、NDA（秘密保持契約）の締結も承ります。
03 構想
ヒアリング内容に基づき構想設計を行い、構想図及び仕様書の作成を行います。
04 お見積り
基本構想・仕様に基づいて概算費用を算出します。
05 製作
弊社では品質を最重要テーマと位置付け、設計・製造の各工程を徹底管理しております。
06 納品
完成した製品について、弊社工場内にて動作テスト及び立会検査を行い、ご承認いただければ納品とさせていただきます。
