大ストロークにおいても、繰返し位置決め精度と姿勢安定性を両立

パネルレベルパッケージプロセス用製造装置を想定した、XYの2軸とZ軸およびアライメント用θ軸搭載ステージ。
ストローク全域での高い位置決め精度に加え、稼働時の姿勢変化を最小限に抑えたメカニカルステージが、先端半導体の生産効率の向上に貢献。
高耐荷重仕様やストローク拡張など、お客様の仕様・ご要望に応じたカスタマイズが可能です。

※当ユニットはデモンストレーション機です。

高い繰返し位置決め精度の実現。

高い繰返し位置決め精度と動特性の両立を目指した半導体製造装置向けステージ。
精密ステージの基本となる繰返し位置決め精度に加え、ローリング・ピッチング精度、低ウェービングを追求。
徹底したサーボ調整により運動性能も追求したハイエンドステージです。

※当ユニットはデモンストレーション機です。
お客様の仕様・ご要望に応じてカスタマイズいたします。